项目业主： 靖江先锋半导体科技有限公司

项目类型： 半导体设备精密零部件加工车间通风降温

解决方案： 凯美恒工业冷风机+负压风机组合降温系统（工业冷风机岗位送风+负压风机高位排热）

项目地址： 江苏省靖江市经济开发区

项目时间： 2020年起

项目背景

江苏先锋精密科技股份有限公司成立于2008年3月20日，注册地位于江苏省靖江市经济开发区，是一家专注于半导体刻蚀设备、薄膜沉积设备关键零部件制造的精密制造企业。公司核心产品包括气体喷淋盘、反应腔体、内腔、匀气盘和加热器等工艺部件，是国内少数已量产供应7纳米及5纳米国产刻蚀设备关键零部件的供应商。公司建有省级示范智能车间和工程技术研究中心，累计获得专利179项，是高新技术企业、江苏省专精特新企业。2022年公司完成股份制改造，由“靖江先锋半导体科技有限公司”更名为“江苏先锋精密科技股份有限公司”，并于2024年12月12日在上海证券交易所科创板上市。

半导体设备关键零部件的精密加工涉及CNC加工中心、精密磨床、电火花加工、表面处理等多道工序。加工中心主轴电机、液压系统、电火花设备持续运转发热，车间内设备密集，热量叠加积聚。精密加工对车间环境温度稳定性有一定要求，设备发热导致的热变形可能影响加工精度。同时，车间内切削液雾、金属粉尘和油雾在通风不畅时积聚，影响作业环境和员工健康。半导体车间对湿度较为敏感，半导体洁净车间湿度一般控制在40%—60%RH之间，湿度过高易导致设备腐蚀或影响产品质量，降温设备不能引入过多水汽，这对降温方案的选型和湿度控制提出了更高要求。

2020年，上海虹贝实业有限公司（凯美恒·CAMHEN）承接靖江先锋半导体车间通风降温工程。针对半导体精密加工车间设备散热集中、湿度敏感、油雾粉尘积聚、车间通风不畅等工况特点，提出工业冷风机加负压风机组合降温方案。

工况痛点

（1）精密加工设备散热集中，车间温度高

CNC加工中心、精密磨床、电火花设备等长时间连续运转，主轴电机和液压系统持续散热，车间内设备密集，热量叠加积聚，夏季高温时段作业环境闷热。

（2）湿度敏感，降温设备不能引入过多水汽

半导体车间对湿度有一定要求，湿度过高可能影响设备或产品质量。传统蒸发降温设备直接送风存在湿度风险，送风湿度需做好控制，避免凝露影响精密设备和产品质量。

（3）油雾和金属粉尘积聚，空气品质差

精密加工过程中使用切削液和加工油，产生油雾和金属粉尘，车间通风不畅时在空气中积聚，影响作业环境和员工健康。

（4）车间通风不畅，热气排不出去

车间设备布局紧凑，门窗数量有限，自然通风条件差。热量和油雾没有有效排出通道，车间内闷热感持续，体感越来越差。

（5）半导体设备怕腐蚀，设备材质有要求

半导体零部件加工对设备洁净度有要求，降温设备外壳需耐清洁剂擦拭，材质不能产生锈蚀污染，影响车间环境。

凯美恒定制方案

针对靖江先锋半导体车间的工况特点，凯美恒技术团队在实地勘测基础上，提出工业冷风机+负压风机组合降温方案。方案核心逻辑：以工业冷风机向车间作业区域输送降温新风，以负压风机在车间对侧高位强制排出积聚的热空气和油雾，形成“一侧送冷风、对侧排热排油雾”的贯穿式气流组织，实现车间整体降温换气与油雾治理同步进行。

工业冷风机——岗位送风降温

采用凯美恒工业冷风机，利用水蒸发吸热原理，热空气通过高效湿帘后温度快速下降，出风温度较室外干球温度可降低5—10℃。设备安装于车间一侧或屋顶，通过风管将降温新风定向输送至加工中心操作位、精密磨床工位和人员作业区域。针对半导体车间湿度敏感的特点，系统配置湿度传感器，根据室内湿度自动调节送风，保障车间湿度控制在合理范围。

负压风机——高位排热排油雾

采用凯美恒负压风机，安装于车间对侧墙面上部及屋顶高位，优先排出屋顶积聚的热空气和油雾。负压风机利用空气对流和负压换气原理，快速抽排室内高温闷热空气，使降温新风自动流入，配合工业冷风机形成贯穿式气流通道，车间空气持续置换。凯美恒负压风机采用永磁直驱电机，整机能效达79.4%，符合国家一级能效标准，适合长时间连续运行。

防腐适配——适应半导体车间环境

针对半导体车间对设备洁净度和防腐的要求，冷风机和负压风机外壳选用防腐材质，水路和电气接口做防潮处理。设备外壳选用耐清洁剂擦拭的材质，便于日常清洁维护，不产生锈蚀污染，符合半导体车间的环境管理要求。

核心设备配置

工业冷风机——利用水蒸发吸热原理降温，配置高效湿帘和湿度传感器，风管送风至加工中心操作位、精密磨床工位和人员作业区域，送风湿度可控。

负压风机——安装于车间对侧墙面上部及屋顶高位，永磁直驱电机，整机能效79.4%，防腐外壳，高效排热排油雾。

配套湿帘——高效防腐湿帘，蒸发降温效率高，在高湿环境下不易发霉。

送风管道与风口——镀锌钢板风管，送风口布置在加工中心操作位、精密磨床工位和人员作业区域，送风方向避开精密设备敏感区域。

安装布置

工业冷风机安装于车间一侧外墙或屋顶，通过送风管道将降温新风输送至车间各作业区域。送风管道沿车间顶部或侧墙敷设，送风口布置在加工中心操作位、精密磨床工位和人员作业区域。负压风机安装于对侧墙面上部及屋顶高位，优先排出顶部积聚的热空气和油雾。

冷风机送风口与负压风机排风口对侧布置，形成贯穿式气流通道，车间空气保持持续置换。设备安装利用生产间隙分段施工，不影响车间正常生产。空调水路和电气接口做防潮处理，设备外壳选用耐清洁材质，便于日常维护。冷风机进风口定期清理，湿帘定期清洗，保障降温效果长期稳定。

项目成效

（1）车间温度明显下降

工业冷风机送风配合负压风机高位排热，加工中心操作位和人员作业区温度较改造前明显下降，高温闷热感显著缓解，作业人员体感舒适度提升。

（2）湿度可控，满足车间环境要求

系统配置湿度传感器，根据室内湿度自动调节送风，车间湿度控制在合理范围，未出现湿度过高影响精密设备和产品质量的情况。

（3）油雾和金属粉尘有效排出

负压风机高位持续排风，配合冷风机定向送风，车间内油雾、金属粉尘被强制排出，空气清新度提升，作业环境明显改善。

（4）能耗合理可控

工业冷风机无需压缩机，运行功率远低于传统中央空调；负压风机整机能效达79.4%，整套系统运行电费大幅降低，半导体车间降温成本可控。

（5）安装施工不影响生产

全部设备安装利用生产间隙分段施工，未影响精密加工设备正常生产，工程周期短、见效快。

客户价值

靖江先锋半导体车间降温项目，验证了凯美恒在半导体设备零部件、精密制造等工业车间通风降温领域的系统解决能力。半导体精密加工车间降温与普通车间不同——设备散热集中、湿度敏感、油雾粉尘积聚、设备怕腐蚀，传统降温设备难以兼顾降温与湿度控制的双重要求。

凯美恒工业冷风机加负压风机组合方案，以工业冷风机解决车间送风降温并配置湿度传感器控制送风湿度，以负压风机解决高位排热排油雾，以防腐材质适应半导体车间环境要求。方案降温明显、湿度可控、防腐耐用，为半导体设备零部件、精密制造、电子元器件等行业车间提供了可复制的通风降温方案。

该方案的经验可复制到半导体设备零部件、精密制造、电子元器件、集成电路、光电制造等有类似设备散热集中、湿度敏感、油雾粉尘积聚等工况的工业车间。如您的车间正面临夏季高温闷热、湿度控制困难、油雾积聚等问题，欢迎联系上海虹贝实业有限公司（凯美恒·CAMHEN），获取专业现场勘测与定制通风降温解决方案。

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